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J-GLOBAL ID：200903083746722204

プラズマによる成膜装置

Inventor： 渡辺 征夫 ,  桑原 創 ,  中東 孝浩
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991186293
Publication number (International publication number)：1993033141
Application date： Jul. 25, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プラズマによる成膜装置において、成膜中に発生するダストの基体上成膜部への付着を抑制する。【構成】 成膜すべき基体6への成膜終了時、プラズマ停止前に該基体の成膜部を覆うシャッタ7及びその駆動装置8を設けたことを特徴とするプラズマによる成膜装置。

Claim (excerpt)：

成膜すべき基体上への成膜終了時、プラズマ停止前に該基体の成膜部を覆うシャッタ装置を設けたことを特徴とするプラズマによる成膜装置。

IPC (4)：

C23C 16/50 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31