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J-GLOBAL ID：200903083771677310

積層薄膜とその製造方法ならびにそれを用いた全固体リチウムイオン二次電池

Inventor： 宇賀治 正弥 ,  樋口 洋 ,  伊藤 修二 ,  美濃 辰治 ,  稲葉 純一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002354088
Publication number (International publication number)：2004183078
Application date： Dec. 05, 2002
Publication date： Jul. 02, 2004
Summary：

【課題】積層薄膜において、イオンビームでイオン照射し薄膜を成膜する場合、作製した薄膜が帯電し、膜破壊や膜内部で電気的中性を保つために必要のない酸化還元反応が起こり、膜物性が劣化すること。【解決手段】陽イオンと陰イオンとを同時に照射するまたは陽イオンと電子とを同時に照射し、帯電を抑制しながら薄膜を成膜する。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

基板上に形成した積層薄膜であり、前記薄膜は少なくとも材料源と陽イオンと陰イオンとを同時に照射するまたは前記薄膜は少なくとも材料源と陽イオンと電子とを同時に照射することを特徴とする積層薄膜。

IPC (7)：

C23C14/48 ,  H01L37/02 ,  H01L41/187 ,  H01L41/24 ,  H01M10/36 ,  H03H3/02 ,  H03H3/08

FI (9)：

C23C14/48 D ,  H01L37/02 ,  H01M10/36 A ,  H03H3/02 B ,  H03H3/08 ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101B ,  H01G4/06 102

F-Term (26)：

4K029AA06 ,  4K029BA58 ,  4K029CA09 ,  4K029DB05 ,  4K029DB18 ,  5E082AB03 ,  5E082BB07 ,  5E082DD11 ,  5E082EE05 ,  5E082EE27 ,  5E082EE37 ,  5E082FF05 ,  5E082FG03 ,  5E082MM09 ,  5E082MM23 ,  5H029AK03 ,  5H029AL12 ,  5H029AM12 ,  5H029BJ04 ,  5H029CJ16 ,  5H029DJ09 ,  5H029HJ16 ,  5J097AA28 ,  5J097HA03 ,  5J097KK09 ,  5J108MM08