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J-GLOBAL ID：200903083806528801

高度にオルソ-オルソ結合したノボラックバインダー樹脂および放射線感受性組成物中のその利用

Inventor： ジヨゼフ・ジエイ・シゼンスキー ,  トマス・アール・サルツビ ,  メドハツト・エイ・トウーキー
Applicant, Patent owner： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994094115
Publication number (International publication number)：1994345837
Application date： May. 06, 1994
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 ポジ型ホトレジスト組成物の調製に有用なフェノール系ノボラックバインダーを提供する。【構成】 (1) 主たる部分が少なくとも1種の3官能性フェノール系モノマーからなる第1のフェノール系モノマーと第1のアルデヒド源とを、約100°C〜約200°Cの反応温度と約2〜約15気圧の反応圧力で触媒の存在なしに反応させて、約500〜約2,000の重量平均分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の約55%〜約75%がオルソ-オルソ結合であるフェノール系オリゴマーを形成させ;そして(2) つぎに前記オリゴマーと第2のフェノール系モノマーおよび第2のアルデヒド源とを、約80°C〜約150°Cの温度で反応させて、3,000〜40,000の分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の50%〜70%がオルソ-オルソ結合であるフェノール系ノボラックを形成させる;各工程からなることを特徴とする方法により調製される。

Claim (excerpt)：

(1) 主たる部分が少なくとも1種の3官能性フェノール系モノマーからなる第1のフェノール系モノマーと第1のアルデヒド源とを、約100°C〜約200°Cの反応温度と約2〜約15気圧の反応圧力で触媒の存在なしに反応させて、約500〜約2,000の重量平均分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の約55%〜約75%がオルソ-オルソ結合であり、そして1μm当り125秒より小さな透明化時間をもつフェノール系オリゴマーを形成させ;ここで前記第1のアルデヒド源対前記第1のフェノール系モノマーのモル比は約0.3:1.0〜約0.55:1.0である;そして(2) つぎに前記オリゴマーと第2のフェノール系モノマーおよび第2のアルデヒド源とを、約80°C〜約150°Cの温度で反応させて、3,000〜40,000の分子量をもち;フェノール部分間のメチレン結合が50%〜70%のオルソ-オルソ結合をもち;そして1μm当り少なくとも20秒の透明化時間をもつフェノール系ノボラックを形成させる;ここで前記第2のアルデヒド源対前記フェノール系部分のモル比は約0.8:1.0より小さい各工程からなることを特徴とする高レベルのオルソ-オルソ結合を有するノボラック樹脂の製造方法。

IPC (3)：

C08G 8/10 NBD ,  C08L 61/06 LMR ,  G03F 7/023 511