Pat
J-GLOBAL ID:200903083808189214
ステージ装置及び露光装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 西 和哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003163708
Publication number (International publication number):2005005295
Application date: Jun. 09, 2003
Publication date: Jan. 06, 2005
Summary:
【課題】複数のステージを独立して移動させる際に不測の事態が生じた場合であっても、構成機器の安全性を高める。【解決手段】第1ステージWST1に接続された第1可動子62Aを備えた第1移動装置65Aと、第2ステージWST2に接続された第2可動子62Bを備えた第2移動装置65Bと、を備える。第1方向に沿って複数設けられ、第1ステージWST1と第2ステージWST2との少なくとも一方の移動を規制する規制装置104A、104Bと、複数の規制装置のうち少なくとも一つの規制装置を第1方向とは異なる第2方向に退避させる退避装置108A、108Bと、を備える。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
第1ステージに接続された第1可動子を備え前記第1ステージを第1方向へ移動させる第1移動装置と、第2ステージに接続された第2可動子を備え前記第2ステージを第1方向へ移動させる第2移動装置と、を備えるステージ装置であって、
前記第1方向に沿って複数設けられ、前記第1ステージと前記第2ステージとの少なくとも一方の移動を規制する規制装置と、
前記複数の規制装置のうち少なくとも一つの規制装置を前記第1方向とは異なる第2方向に退避させる退避装置と、を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (3):
H01L21/68
, G03F7/22
, H01L21/027
FI (4):
H01L21/68 K
, H01L21/68 F
, G03F7/22 H
, H01L21/30 515G
F-Term (20):
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA53
, 5F031HA55
, 5F031JA05
, 5F031JA06
, 5F031JA17
, 5F031JA28
, 5F031JA32
, 5F031JA38
, 5F031KA06
, 5F031KA07
, 5F031KA08
, 5F031LA02
, 5F031LA08
, 5F031MA27
, 5F031NA04
, 5F046BA04
, 5F046CC01
, 5F046CC13
Return to Previous Page