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J-GLOBAL ID：200903083823703889

分光装置

Inventor： 赤堀 洋道 ,  岩本 敏志
Applicant, Patent owner： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002379687
Publication number (International publication number)：2004212110
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】測定開始前や測定最中に残り測定時間を表示するようにした分光装置の提供。【解決手段】テラヘルツ時間領域分光装置では、移動鏡9によりプローブ光L3の光路長を変えて検出することにより、すなわち、光路長に応じた遅延時間でテラヘルツパルス光L5を検出することにより、テラヘルツパルス光L5の時系列波形を測定する。この一連の測定データを取得するのに要する測定時間を、予め設定された測定条件に基づいて算出し、表示部25に表示する。また、データ取得毎に、残り測定時間を表示部25に表示する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

試料に検査光を照射して、分析処理に必要な複数の測定データを取得する分光装置において、 測定条件である波数の分解および測定周波数を入力する入力部と、 前記複数の測定データを所定遅延時間毎に得られるように、前記測定条件に応じて、前記試料からの試料情報を持った光を検出するタイミングを制御する制御手段と、 一連の前記複数の測定データに基づき前記分析処理を行う処理手段と、 前記測定条件から前記処理手段が前記一連の複数の測定データを取得する総時間を演算する演算手段と、 前記演算手段で演算された前記総時間を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする分光装置。

IPC (3)：

G01J3/02 ,  G01N21/35 ,  G01N22/00

FI (3)：

G01J3/02 R ,  G01N21/35 Z ,  G01N22/00 M

F-Term (30)：

2G020AA03 ,  2G020CA14 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2G020CD35 ,  2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE10 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04