Pat
J-GLOBAL ID：200903083826742788
絞りプレートおよびその処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
久保田 直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999208534
Publication number (International publication number)：2000299076
Application date： Jul. 23, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：
【要約】【課題】 高い分解能を達成し、維持することが可能な絞りプレートおよびその処理方法を提供すること。【解決手段】 例えば電子顕微鏡の絞りプレートの処理方法において、エッチングにより孔空けした絞りプレートの残留レジストをより完全に除去可能な洗浄工程、および絞りプレートの表面にオスミウムをコーティングするコーティング工程を実施する。本発明によれば、エッチングによる孔空け加工後の絞りプレートの残留レジストが従来の方法と比べてより完全に除去されるので、帯電やコンタミネーション、コーティングの剥離等の問題が減少し、分解能が向上する。更に、コーティングされたオスミウムは非結晶状態の硬質の導電膜となるので、分解能の劣化が防止できる。
Claim (excerpt)：
微小な孔を空けた金属板にオスミウムのコーティングを施すコーティング工程を含むことを特徴とする絞りプレートの処理方法。
IPC (3)：
H01J 37/09
, C23C 30/00
, H01J 9/14
H01J 37/09 A
, C23C 30/00 B
, H01J 9/14 A
4K044AA06
, 4K044AB02
, 4K044BA08
, 4K044BC05
, 4K044CA02
, 4K044CA04
, 4K044CA41
, 5C033BB01
, 5C033BB08
