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J-GLOBAL ID：200903083828908292

測長装置

Inventor： 山口 信幸 ,  後藤 勝人 ,  島谷 孝
Applicant, Patent owner： サンユー電子株式会社
Agent (1)： 岡田 守弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993019113
Publication number (International publication number)：1994229721
Application date： Feb. 08, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、長さおよび高さを測定する測長装置に関し、画面上で高さ測定位置や長さ測定位置の指示に対応して、自動的に中心に移動して左右画像や画像を一致させてこのときの調整値を記憶することを繰り返し、調整値の差から高さや長さを算出して表示などし、走査型電子顕微鏡などの画像の歪みや固有の誤差の影響を受けることなく、試料の高さや長さを正確かつ簡単な操作で自動測定を実現することを目的とする。【構成】 画面上で高さ測定の位置が指示されたことに対応して、指示された位置を画面中心に移動する移動制御42と、この移動制御42によって画面中心に移動した後の左右画像を一致させたときの調整値を算出する高さ測定43と、この高さ測定43によって算出した調整値の差から指示された位置の高さΔZを計算する高さ計算44とを備えるように構成する。

Claim (excerpt)：

ステレオ像から高さを測定する測長装置において、画面上で高さ測定の位置が指示されたことに対応して、指示された位置を画面中心に移動する移動制御(42)と、この移動制御(42)によって画面中心に移動した後の左右画像を一致させたときの調整値を算出する高さ測定(43)と、この高さ測定(43)によって算出した調整値の差から指示された位置の高さΔZを計算する高さ計算(44)とを備えたことを特徴とする測長装置。

IPC (4)：

G01B 11/02 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  H04N 7/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-018403
  
• 特開昭58-053707
  
• 特開平4-203908
  
• 特公昭58-028524