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J-GLOBAL ID:200903083831521129
磁気ディスクおよび磁気ディスク装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
富田 和子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992107968
Publication number (International publication number):1993303735
Application date: Apr. 27, 1992
Publication date: Nov. 16, 1993
Summary:
【要約】【目的】浮上高さが小さく、高密度記録に対応可能な磁気ディスク、磁気記録装置を提供することを目的とする。【構成】表面粗さが小さく(1nmRmax以下)、且つ、平面度が高い(1μm以下)の磁気ディスク用の基板を使用する。このような基板を得るためには、位置ずれセンサ13により上定盤4の位置ずれ量を監視することにより、基板3の弾性変形量を一定の範囲に留めつつ両面研削を行なう。これにより基板3の反りを除去し平面度を高める。また、動圧発生面を有する上下定盤4,5の間に基板3を設置し、それぞれの定盤4,5と基板3との間に介在する研磨剤の動圧効果により、基板3を定盤4,5と非接触の状態で両面研磨し表面粗さを小さくする。
Claim (excerpt):
表面粗さ1nmRa以下で且つ平面度1μm以下の円環状基板と、該円環状基板上に形成された磁性膜と、を含んで構成されることを特徴とする磁気ディスク。
IPC (3):
G11B 5/66
, G11B 5/02
, G11B 5/84
Patent cited by the Patent: