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J-GLOBAL ID:200903083847670760

共振型光偏向器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 千葉 剛宏 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994080743
Publication number (International publication number):1995287184
Application date: Apr. 19, 1994
Publication date: Oct. 31, 1995
Summary:
【要約】【目的】ミラーの動歪の発生を抑制するとともに一層の高速処理が図れる共振型光偏向器を提供することを目的とする。【構成】ミラー28には、軸部40から該ミラー28の外縁部に向いて形成されたリブ100a〜100e、102a〜102eが先細となるように形成されている。このため、慣性モーメントが最大となるミラーの外縁部近傍のリブ100a〜100e、102a〜102eの質量が最小限に抑えられ、この結果、ミラーの動歪の発生を抑制する。
Claim (excerpt):
反射ミラーを回転振動させることで光ビームを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数のリブと、を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向いて幅が狭小となるように形成されていることを特徴とする共振型光偏向器。

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