光学装置及び顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：篠原泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999253097
Publication number (International publication number)：2001075009
Application date： Sep. 07, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】高解像でセクショニング効果が高く、出力画像を得るまでの時間を短縮化でき、光を強く散乱する物体の内部を、蛍光色素を付加することなく観察可能で、振動等に強く高解像で観察可能であり、更に、半導体ウエハー上に形成されたICパターンの積層構造をも観察可能な光学装置及び顕微鏡を提供する。【解決手段】光源17と、照明光学系21と、結像光学系4と、光を透過する領域と光を遮光する領域で形成された開口領域を有する回転可能な開口部材12と、分波および合波手段10,23と、偏光抽出手段11と、撮像素子6と、画像処理装置15,16と、位相変化装置14を備え、前記偏光成分の位相差量がほぼ同じで符合の異なる少なくとも2枚の微分干渉画像から各画素毎に差演算を行って差画像を形成するようにした。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光を被観察物体に導く照明光学系と、被観察物体の像を拡大投影する結像光学系と、結像光学系の結像面又はその共役面上に配置され、光を透過する領域と光を遮光する領域で形成された開口領域を有する回転可能な開口部材と、前記光源からの光を互いに直交する偏光成分に分波する分波手段と、前記結像光学系内に配置され前記分波手段によって分波された偏光成分を合波する合波手段と、前記結像光学系内の合波手段と像面との間に配置された特定の偏光成分のみを抽出する偏光抽出手段と、前記結像光学系の結像面に投影された被観察物体の拡大像を撮像する撮像素子と、該撮像素子によって得られた画像を記憶し、該画像を用いて演算するための画像処理装置と、前記光源から前記分波手段の間又は前記合波手段から前記撮像素子の間に配置された互いに直交する偏光成分の位相差を変化させる位相変化装置を備え、前記開口部材の透過領域と遮光領域は開口部材の回転中心近傍から周辺近傍にわたって形成された境界を有し、前記偏光成分の位相差量がほぼ同じで符合の異なる少なくとも2枚の微分干渉画像から各画素毎に差演算を行って差画像を形成するようにしたことを特徴とする光学装置。

IPC (3)：

G02B 21/00 , G02B 21/36 , G02B 26/10 107

FI (3)：

G02B 21/00 , G02B 21/36 , G02B 26/10 107

F-Term (17)：

2H045AG00 , 2H045AG01 , 2H045DA31 , 2H052AA03 , 2H052AA05 , 2H052AA08 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC11 , 2H052AC13 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC16 , 2H052AC29 , 2H052AD32 , 2H052AF14 , 2H052AF25

Return to Previous Page