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J-GLOBAL ID：200903083857492860

マイクロ波プラズマ処理装置

Inventor： 西條 達也 ,  西森 康博
Applicant, Patent owner： 株式会社ダイヘン
Agent (1)： 中井 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994131342
Publication number (International publication number)：1995321096
Application date： May. 20, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 マイクロ波用チョーク構造を有するマイクロ波漏洩防止手段によるマイクロ波の漏洩を、さらに低減させると共に、マイクロ波プラズマ処理装置の小型化を図る。【構成】 マイクロ波を伝搬させる方形導波管に、一端に処理室を設けたプラズマ輸送管を貫通させ、方形導波管とプラズマ輸送管との結合部のプラズマ輸送管の外周に配設されたマイクロ波用チョーク構造を有するマイクロ波漏洩防止手段を具備し、プラズマ輸送管内にマイクロ波によるプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ処理装置において、第1のマイクロ波漏洩防止手段とするマイクロ波漏洩防止手段と連続して、筒状を呈した少なくともマイクロ波吸収体からなる第2のマイクロ波漏洩防止手段を方形導波管と逆方向側のプラズマ輸送管の外周に第1のマイクロ波漏洩防止手段と同軸上に配設したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

マイクロ波を伝搬させる方形導波管に、一端に処理室を設けたプラズマ輸送管を貫通させ、前記方形導波管とプラズマ輸送管との結合部のプラズマ輸送管の外周に配設されたマイクロ波用チョーク構造を有するマイクロ波漏洩防止手段を具備し、前記プラズマ輸送管内にマイクロ波によるプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ処理装置において、第1のマイクロ波漏洩防止手段とする前記マイクロ波漏洩防止手段と連続して、筒状を呈した少なくともマイクロ波吸収体からなる第2のマイクロ波漏洩防止手段を前記方形導波管と逆方向側のプラズマ輸送管の外周に第1のマイクロ波漏洩防止手段と同軸上に配設し、前記マイクロ波吸収体の前記プラズマ輸送管側の長さが、前記第1のマイクロ波漏洩防止手段とプラズマとの間隙幅より大きく設定されたマイクロ波プラズマ処理装置。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  H01F 30/08 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (3)：

H01L 21/302 B ,  H01F 39/00 ,  H01L 21/31 C