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J-GLOBAL ID：200903083867763447

インクジェット式記録ヘッド

Inventor： 藤井 覚 ,  神野 伊策 ,  高山 良一 ,  鎌田 健
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 大前 要
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998337706
Publication number (International publication number)：2000158648
Application date： Nov. 27, 1998
Publication date： Jun. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】 歩留りが低下したりオーバーエッチングが生じたりするのを抑制しつつ、圧電体薄膜の残留応力の低減と製造コストの低減とを図ることができるインクジェット式記録ヘッドの提供することを目的とするものである。【解決手段】 圧力室2を備えたインク流路構造体1の圧力室形成面上に、インクを吐出させるための振動板膜3とペロブスカイト結晶構造を有する圧電体薄膜5とを有する圧電素子が形成されると共に、上記圧電体薄膜5における上記圧力室2側の面に第2電極膜4が形成される一方、上記圧電体薄膜5における他方の面に第1電極膜7が形成されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記第1電極膜7として、金又は金合金を用いることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

圧力室を備えたインク流路構造体の圧力室形成面上に、インクを吐出させるための振動板膜とペロブスカイト結晶構造を有する圧電体薄膜とを有する圧電素子が形成されると共に、上記圧電体薄膜における上記圧力室側の面に第2電極膜が形成される一方、上記圧電体薄膜における他方の面に第1電極膜が形成されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記第1電極膜として、金又は金合金を用いることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (2)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055

F-Term (9)：

2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG85 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP31 ,  2C057BA14