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J-GLOBAL ID：200903083883216375
板状ワークの切断方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995032743
Publication number (International publication number)：1996227865
Application date： Feb. 21, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：
【要約】【目的】 複数のブレードを用いて効率良くウエハなどのワークを小片に切断し得るようにする。【構成】 第1ブレード13によりこれを切断方向に進行移動させてウエハWを切断し、第1ブレード13に同期して進行移動する第2ブレード14が切断開始側のスペースSの位置となったら第1ブレード13の進行移動を停止して第2ブレード14を切断開始側のスペースSに接近移動する。そして、それぞれのブレード13,14を進行移動させてこれらによりウエハWを同時に切断し、第1ブレード13が切断終了側のスペースSにまで進行移動したときに第2ブレード14の進行移動を停止させて第1ブレード13を切断終了側のスペースSから離反移動し、第2ブレード14を切断終了側のスペースSまで進行移動させてウエハWを切断する。
Claim (excerpt)：
ワークシートを有する枠体にこの枠体に対して環状のスペースを介して前記ワークシートに保持された板状ワークを小片に切断する板状ワークの切断方法であって、先行側ブレードを前記板状ワークの切断開始側のスペースに接近移動し、前記先行側ブレードによりこれを切断方向に進行移動させて前記板状ワークを切断し、前記先行側ブレードに同期して進行移動する追従側ブレードが前記切断開始側のスペースの位置となったら前記先行側ブレードの進行移動を停止して前記追従側ブレードを前記切断開始側のスペースに接近移動し、前記先行側と追従側のそれぞれのブレードを進行移動させてこれらにより前記板状ワークを同時に切断し、前記先行側ブレードが切断終了側のスペースにまで進行移動したときに前記追従側ブレードの進行移動を停止させて前記先行側ブレードを前記切断終了側のスペースから離反移動し、次いで、前記追従側ブレードを前記切断終了側のスペースまで進行移動させて前記板状ワークを切断するようにしたことを特徴とする板状ワークの切断方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/78 F
, B28D 5/02 A
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (2)
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特開昭54-087170
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特開昭54-087170
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