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J-GLOBAL ID：200903083883546243

感光性樹脂組成物

Inventor： 長崎 能徳 ,  清水 茂二 ,  新井 一成 ,  小原 みどり ,  大江 靖
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001026488
Publication number (International publication number)：2002229204
Application date： Feb. 02, 2001
Publication date： Aug. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】希アルカリ溶液にて現像可能な、高感度、高解像度のレジストパターンを供給することができる新規なネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】少なくともアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤及び、光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂がフェノール性水酸基を有する有機重合体を、オキシラン化合物及び/またはオキセタン化合物により変性した化合物を構造単位で含む重合体であることを特徴とした感光性樹脂組成物を提供するものである。【化1】

Claim (excerpt)：

少なくともアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤及び、光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂がフェノール性水酸基を有する有機重合体を、オキシラン化合物及び/またはオキセタン化合物により変性した、下記一般式(1)で表される化合物、を構造単位で含む重合体であることを特徴とした感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (7)：

G03F 7/033 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/033 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (34)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB01 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC83 ,  2H025BC92 ,  2H025BD22 ,  2H025CA00 ,  2H025CA43 ,  2H025CB41 ,  2H025CB52 ,  2H025CB56 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4J002BC12W ,  4J002CD01X ,  4J002CD02X ,  4J002CD04X ,  4J002EB006 ,  4J002EU186 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002EY016 ,  4J002EY026 ,  4J002EZ006 ,  4J002FD14X ,  4J002FD206 ,  4J002GP03