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J-GLOBAL ID：200903083901259028

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： 土屋 勝則 ,  藤井 正 ,  服部 健治 ,  吉田 哲也
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153415
Publication number (International publication number)：1993341526
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液で現像でき、かつ、諸性能に優れた高信頼性ソルダマスクを形成しうる感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 (a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)5-アミノ-2-メルカプト-1,3,4-チアジアゾール等の複素環式メルカプタン化合物並びに(e)2,2-ビス〔4-(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル〕プロパン等の光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、Xは、-N=C-S-部分と結合して5員環を形成する原子団を表し、上記原子団は2個の炭素原子、2個の窒素原子又は1個の炭素原子と1個の窒素原子が単結合あるいは二重結合によって結合したものであって、単環式5員環を形成するか、あるいはXは芳香族環であって、上記5員環と縮合環を形成するものであり、上記5員環及び/又は芳香族環はハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、アルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、メルカプト基及びフェニル基からなる群から選択された置換基の1個以上で置換されていてよい〕で示される複素環式メルカプタン化合物並びに(e)一般式(II)【化2】〔式中、R2及びR3は各々独立して水素原子又はメチル基であり、繰り返し単位の個数を示すl及びmはl+mが2〜30となるように選ばれる正の整数である〕で示される光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 503 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/032 501 ,  G03F 7/085 ,  H05K 3/28