Pat
J-GLOBAL ID：200903083909063696
エリプソメータ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中井 宏行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993096907
Publication number (International publication number)：1994288835
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 1回の測定で単色光線複数波長分の測定が行えるエリプソメータを提供する。【構成】 測定試料24に直線偏光を照射し、この時、測定試料24より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子25と光検出器を用いて測定することによって、測定試料24の光学定数及び膜厚を得るエリプソメータにおいて、平行多色光線を出力する光源部20と、測定試料24より反射して来る偏光の光軸上で回転検光子25の後方に配置された回折格子10と、この回折格子10により波長毎に分解された各分光を受光するように配置された複数の光検出器11a〜11eとを備えた構成となっている。
Claim (excerpt)：
測定試料に直線偏光を照射し、この時、上記測定試料より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子と光検出器を用いて測定することによって、上記測定試料の光学定数及び膜厚を得るエリプソメータにおいて、平行多色光線を出力する光源部と、上記測定試料より反射して来る偏光の光軸上で上記回転検光子の後方に配置された回折格子と、この回折格子により波長毎に分解された各分光を受光するように配置された複数の光検出器とを備えたことを特徴とするエリプソメータ。
IPC (2)：
Return to Previous Page
