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J-GLOBAL ID：200903083911667531

ワイヤソーのスラリー管理システム及びスラリー管理方法

Inventor： 仲山 昭博 ,  高橋 加津正 ,  勝俣 昇 ,  黒田 健正 ,  和田 豊尚 ,  西田 高治 ,  上村 彰一 ,  児玉 哲夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日平トヤマ ,  東洋紡績株式会社
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996262867
Publication number (International publication number)：1997168971
Application date： Oct. 03, 1996
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ワイヤソーのスラリー管理システムにおいて、ワイヤソーより排出されたスラリー中の砥粒及び分散液を再使用できるようにする。【解決手段】 各ワイヤソーW1〜W4より排出された廃スラリーは、デカンタ6及びフィルタ7へと順に搬送される。デカンタ6では廃スラリーから砥粒が分離回収され、フィルタ7では切り粉等を分離して分散液が回収される。回収された砥粒及び分散液は調合槽2に搬送されて再分散され、スラリーが調合生成される。このとき、スラリー中の砥粒含有率が比重計S1及び粘度計S2により検出され、この検出結果に基づいて、砥粒と分散液との混合重量比が1:0.91から1:0.6の範囲内となるように、新しい砥粒及び分散液の供給量が調整される。調合生成されたスラリーは各ワイヤソーW1〜W4へ連続的に供給される。

Claim (excerpt)：

オイル系または水系の分散液に砥粒を分散してなるスラリーを、互いに平行に張設されたワイヤ群に供給し、被切削体を前記ワイヤ群に通過させることにより、多数のウェハを同時に得るようにしたワイヤソーのためのスラリー管理システムにおいて、前記ワイヤソーに供給するスラリーを調合するための調合手段を備え、その調合手段によって調合されるスラリー中における砥粒と分散液との混合重量比を、分散液がオイル系のものである場合には1:0.91から1:0.6の範囲内に設定し、分散液が水系のものである場合には1:0.76から1:0.5の範囲内に設定したワイヤソーのスラリー管理システム。

IPC (3)：

B24B 57/00 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04

FI (3)：

B24B 57/00 ,  B24B 27/06 D ,  B28D 5/04 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-316170
  
• 密閉型ワイヤソーによる高脆性材料の切断方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-286537   Applicant：新日本製鐵株式会社