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J-GLOBAL ID：200903083916513907
静電アクチュエータ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003377185
Publication number (International publication number)：2005143223
Application date： Nov. 06, 2003
Publication date： Jun. 02, 2005
Summary：
【課題】 非通電時において移動子の位置が不定になった場合であっても、通電時において移動子の位置を制御することのできる静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 表面に複数の駆動用電極を有する固定子(1)と、固定子に対して相対移動可能であって、複数のエレクトレット化された部位を有する移動子(2)と、移動子を固定子と挟み込むように配置された保護部材と、移動子を駆動させるための駆動パルス信号を出力するパルス発生回路(12)と、パルス発生回路からの駆動パルス信号に基づいて、駆動用電極に多相交流電圧を印加する駆動回路(14)と、移動子の初期位置に対応する固定子上の位置に配設された機械的、若しくは、電気的なストッパ(36、37)と、を具備し、パルス発生回路は、電源が投入された後、移動子をストッパに達するまで駆動するための初期化パルス信号を出力する静電アクチュエータである。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
表面に複数の駆動用電極を有する固定子と、
上記固定子に対して相対移動可能であって、複数のエレクトレット化された部位を有する移動子と、
上記移動子を上記固定子と挟み込むように配置された保護部材と、
上記移動子を駆動させるための駆動パルス信号を出力するパルス発生回路と、
上記パルス発生回路からの駆動パルス信号に基づいて、上記駆動用電極に多相交流電圧を印加する駆動回路と、
上記移動子の初期位置に対応する上記固定子上の位置に配設された機械的、若しくは、電気的なストッパと、を具備し、
上記パルス発生回路は、電源が投入された後、上記移動子を上記ストッパに達するまで駆動するための初期化パルス信号を出力することを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
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