超純水製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中川周吉 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997223686
Publication number (International publication number)：1999057417
Application date： Aug. 20, 1997
Publication date： Mar. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、濾過前の被濾過水中にオゾンを注入することによりオゾン耐性膜で阻止された微生物を確実に殺菌すると共に、超純水製造工程を一時停止させることなく超純水を生産し、設備管理者による超純水中または濾過水中の微生物の棲息状態の調査を省略して管理コストを低減し、微生物殺菌後の廃液処理を省略できる超純水製造方法を提供することを可能にすることを目的としている。【解決手段】原水1を一次純水2に濾過処理し、最終濾過工程前の被濾過水中にオゾンを注入してオゾン耐性膜モジュールによる濾過工程を行った後、ユースポイント3の近傍下流側にオゾンを除去する脱酸素,脱オゾン工程を設けて構成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

超純水製造工程の最終濾過工程を精密濾過膜または限外濾過膜を用いて行う際に、濾過前の被濾過水へオゾンを添加して濾過し、濾過後に濾過水中に残存するオゾンまたは酸素を分解または除去することを特徴とする超純水製造方法。

IPC (11)：

B01D 61/18 , C02F 1/32 , C02F 1/44 , C02F 1/50 510 , C02F 1/50 520 , C02F 1/50 531 , C02F 1/50 540 , C02F 1/50 550 , C02F 1/50 560 , C02F 1/50 , C02F 1/78

FI (11)：

B01D 61/18 , C02F 1/32 , C02F 1/44 J , C02F 1/50 510 E , C02F 1/50 520 B , C02F 1/50 531 R , C02F 1/50 540 B , C02F 1/50 550 C , C02F 1/50 560 E , C02F 1/50 560 C , C02F 1/78

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

フッ素系親水性微多孔膜及びそれを用いた水処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-126323 Applicant：旭化成工業株式会社
超純水製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-005616 Applicant：オルガノ株式会社
超純水製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-180018 Applicant：栗田工業株式会社

Show all

Return to Previous Page