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J-GLOBAL ID：200903083964154684

スパッタリングターゲット

Inventor： 野中 敏央 ,  大林 元太郎 ,  後藤 勇
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167651
Publication number (International publication number)：1997071861
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】カルコゲン化合物と酸化物と炭素よりなる誘電体膜のスパッタリングによる作製における課題を解決し、安定な膜組成を低コストな装置で得ることができ、かつ作製が容易なスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】少なくともカルコゲン化合物、酸化物および炭素を含むターゲットであって、該ターゲットはカルコゲン化合物と酸化物および炭素の混合物を成型・焼成してなるスパッタリングターゲット。

Claim (excerpt)：

少なくともカルコゲン化合物、酸化物および炭素を含むターゲットであって、該ターゲットはカルコゲン化合物と酸化物および炭素の混合物を成型・焼成してなるものであることを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (6)：

C23C 14/34 ,  B41M 5/26 ,  C04B 35/495 ,  C04B 35/453 ,  G11B 7/24 533 ,  G11B 7/24 534

FI (6)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 533 A ,  G11B 7/24 534 L ,  B41M 5/26 X ,  C04B 35/00 J ,  C04B 35/00 P