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J-GLOBAL ID：200903083986834948

位置検出装置及び位置決め装置

Inventor： 上野 俊明 ,  八木 隆明 ,  斉藤 光親
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996191687
Publication number (International publication number)：1998038508
Application date： Jul. 22, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】装置全体が大型化することなくプローブとステージとの相対的な位置関係をnmのオーダで正確に制御できる位置検出装置及び位置決め装置を提供する。【解決手段】位置検出装置は、平面を持つステージ1上に形成された4個の平行平板電極と、このステージ面と平行に設定されたプローブ面上の対向する位置に形成された他の4個の平行平板電極からなる4組の空気コンデンサを備えている。この4組のコンデンサにより交流ブリッジを形成し不平衡電圧をモニターする。この時ステージ面とプローブ面の相対移動により、前記4組の空気コンデンサの容量が変化し不平衡電圧も変化する。この不平衡電圧をモニターすることにより、ステージ面とプローブ面の相対移動量が正確に把握できる。位置決め装置は、前記位置検出装置と、検出された位置情報を記憶する記憶手段、検出された位置情報を基にステージ面又はプローブ面を駆動する駆動制御手段からなる。

Claim (excerpt)：

第一の平面を有する基板と、前記第一の平面に平行で狭小な間隔を介して保持される第二の平面を有する基板との間で、前記第一の平面の表面上に形成された4個の電極と、前記第二の平面の表面上に形成された相対する4個の電極とから形成される4組の平行平板電極対コンデンサーにより、交流ブリッジの4辺を形成し、前記第一の平面を有する基板と前記第二の平面を有する基板との平面に沿った相対移動量に比例して変化する前記交流ブリッジの不平衡電圧を測定することで前記相対移動量を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4)：

G01B 7/00 ,  G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/68

FI (4)：

G01B 7/00 K ,  G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 21/68 F