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J-GLOBAL ID：200903083991549399
軟X線検出器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058040
Publication number (International publication number)：1993264738
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 軟X線に対して高感度であって、且つ可視光等の軟X線領域以外の光に対しては感度が低く、取り扱いが容易な軟X線検出器を提供する。【構成】 表面電極層と光電変換層と半導体検出器とを備えた内部増幅型固体撮像素子を形成し、光電変換層の厚さdA と表面電極層の厚さdB を夫々以下の条件(A) ,(B) を満足するように設定する。条件(A): dA ≧0.183λ/KA ,条件(B): dB ≦0.183λ/KB但し、KA は光電変換層を構成する物質の波長λの光に対する吸収係数、KBは表面電極層を構成する物質の波長λの光に対する吸収係数である。
Claim (excerpt)：
光の入射側から順に、表面電極層と、光電変換層と、該光電変換層に接続された電極を有し該光電変換層で発生した電荷を検出する半導体検出器とを備え、前記光電変換層及び表面電極層が各々以下の条件(A)、(B)を満足する厚さを有する軟X線検出器。条件(A) dA ≧0.183λ/KA 条件(B) dB ≦0.183λ/KB 但し、dA は光電変換層の厚さ、dB は表面電極層の厚さ、KA は光電変換層を構成する物質の波長λの光に対する吸収係数、KB は表面電極層を構成する物質の波長λの光に対する吸収係数である。
IPC (3)：
G01T 1/20
, G01T 1/24
, H01L 31/09
