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J-GLOBAL ID：200903084015949397

マーク位置検出装置及び方法

Inventor： 中川 正弘 ,  菅谷 綾子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996273229
Publication number (International publication number)：1998125572
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】 基板と集光光学系との間に配された偏向部材における検出光の位相飛びに起因する検出誤差を補正する。【解決手段】 基板上の位置合わせマークの位置を検出するマーク位置検出装置であって、該基板上の位置合わせマークからの検出光を集光するための集光光学系と、該集光光学系で集光された該検出光を検出する光検出装置と、該マークと該集光光学系との間の光路中に配されて該検出光を偏向する偏向部材と、該偏向部材の偏向面における該検出光の位相飛びにより生じる該検出光の偏光成分間の波面変化を補償するように構成され、該マークと該光検出装置との間の光路中に配された偏光補償光学系とを備える、マーク位置検出装置。

Claim (excerpt)：

基板上の位置合わせマークの位置を検出するマーク位置検出装置であって、該基板上の位置合わせマークからの検出光を集光するための集光光学系と、該集光光学系で集光された該検出光を検出する光検出装置と、該マークと該集光光学系との間の光路中に配されて該検出光を偏向する偏向部材と、該偏向部材の偏向面における該検出光の位相飛びにより生じる該検出光の偏光成分間の波面変化を補償するように構成され、該マークと該光検出装置との間の光路中に配された偏光補償光学系とを備える、マーク位置検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 525 R ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 W