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J-GLOBAL ID：200903084021745248

試料ステージ駆動機構

Inventor： 川原 義成 ,  井上 陽一 ,  小山田 具永
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003045247
Publication number (International publication number)：2004259448
Application date： Feb. 24, 2003
Publication date： Sep. 16, 2004
Summary：

【課題】チャンバに固定された球面凹部を有する中空管状の球面受け部材と、その球面と摺動する球面凸部を持つ棒状の試料ホルダと、試料ホルダ先端に位置する試料ステージと、試料ホルダを駆動する駆動モータと、球形支点部材に装着され、試料ステージ部分を真空に保つためのOリングで構成される試料ステージ駆動機構において、試料ステージ動作後のドリフトを低減すること。【解決手段】真空を保つためのOリングに弾性力を発生させ、これを有効に活用する。【効果】Oリングに反発力が生じることで、ドリフトの収束が早くなり、また、ドリフト量が低減される。これにより、電子顕微鏡の操作性は向上し、電子顕微鏡による高精度の測定ができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

先端に試料を取付ける試料ステージと、前記試料ステージが先端に固定され中間部に試料ステージ側の方へ頂点を持つ半球面凸部を有する棒状部材である試料ホルダと、前記球面凸部と摺動する球面凹部を有し中空管状の球面受け部材と、前記球面受け部材を壁内部に固定する基台と前記試料ホルダの球面凸部を基準としたときに試料ステージ側とは反対側の試料ホルダ壁に垂直な荷重を加えられる駆動モータと、試料ホルダの半球面部に同心となるように装着され基台壁と接触することで試料ステージ側の真空を維持するためのOリングで構成されるサイドエントリー形試料ステージ駆動機構を有する電子顕微鏡において、 前記Oリングに試料ホルダ長手方向の弾性力を発生させるように前記試料ホルダの半球面部球面切り口側につば部に設置することを特徴とした試料ステージ駆動機構。

IPC (1)：

H01J37/20

FI (1)：

H01J37/20 C

F-Term (3)：

5C001AA01 ,  5C001CC03 ,  5C001DD02