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J-GLOBAL ID：200903084037448324
磁気記録媒体の製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 馨 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993244681
Publication number (International publication number)：1995098854
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 良質の磁気記録媒体を製造することができると共に、製造効率の向上した磁気記録媒体の製造装置を提供すること。【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内のバックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、及びスリッター室を有し、バックコート層形成室は、被蒸着材下方の金属材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、反転案内ロールとを含み、磁性層形成室は、被蒸着材下方の磁性材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、酸化性ガス供給装置とを含み、潤滑層形成室は、被蒸着材下方の潤滑材供給手段を含み、スリッター室は、巻取手段と、スリッターと、酸化性ガス供給手段とを備えることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
真空容器と、該真空容器内に各独立して配設されたバックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、及びスリッター室を有し、前記各室は、一連の被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接する各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有し、前記バックコート層形成室は、被蒸着材の下方に配設され金属材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの金属材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、被蒸着材の面を反転させる案内ロールとを含み、前記磁性層形成室は、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給装置とを含み、前記潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配設され微粒化した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給手段を含み、前記スリッター室は、被蒸着材を巻取る巻取手段と、被蒸着材の走行方向に関し該巻取手段の上流側に配設されるスリッターと、該スリッターにより切断される被蒸着材の切断面に加熱した酸化性ガスを供給するべく備る酸化性ガス供給手段とを備えることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
IPC (3)：
G11B 5/84
, C23C 14/56
, G11B 5/85
