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J-GLOBAL ID：200903084046647232
電子線による微細針の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991305307
Publication number (International publication number)：1993115983
Application date： Oct. 24, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 電気的または磁気的なマイクロ・プローブとして使用することのできる、2ナノメータ以下の半径を持つ微細針を製造する方法を提供する。【構成】 MgO基板1の上に金の粒子を蒸着し、粒子に電子線を照射する。毛細管効果を表面応力とにより、微細針が形成される。
Claim (excerpt)：
基板上に金属の微小粒子を置き、この微小粒子に電子線を照射することにより、2ナノメータ以下の半径を持つ微細針を製造することを特徴とする、電子線による微細針の製造方法。
IPC (3)：
B23K 15/00 508
, B21G 1/04
, G01B 7/34
