半導体センサモジュールを用いた滅菌プロセスのモニタリングおよび制御

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998504511
Publication number (International publication number)：2000515035
Application date： Jul. 02, 1997
Publication date： Nov. 14, 2000
Summary：

【要約】半導体感知素子(124)を滅菌チャンバ(1)内に搭載する。センサの構成(composition)は、その電気的特性の1つ、例えばキャパシタンスまたは抵抗が、チャンバ中の化学滅菌剤の濃度とともにリアルタイムで変化するように選択される。受信ユニット(126)は、固体感知素子をモニタリングし、例えば温度、圧力、相対湿度、空気流速、酸化物質濃度およびこれらの組合せである環境パラメータ値の第1の組における滅菌剤のベースライン濃度に対応するベースライン電気的特性値を格納する。受信ユニットは、リアルタイムな半導体感知素子の電気的特性の変化をベースライン特性値と比較して、これにより、滅菌剤濃度のリアルタイムな指標を提供する。滅菌装置制御部(12)は、この受信ユニットからのリアルタイムの滅菌剤濃度に従って、滅菌チャンバ中の滅菌剤の濃度および他の滅菌システムパラメータを制御する。上記環境パラメータの1つ以上が変化すると、滅菌装置制御部は、受信ユニットに、ベースライン電気的特性値を、新しい環境パラメータ組に対する新しいベースライン滅菌剤濃度値に対応する値に変更させる。

Claim (excerpt)：

滅菌チャンバと、化学滅菌剤を該チャンバ内に導入する手段と、該チャンバから滅菌剤を除去する手段と、該滅菌剤導入手段および該滅菌剤除去手段を制御するプロセスコントローラとを備えた滅菌システムであって、該チャンバ内に配置される感知素子であって、該滅菌剤の濃度に従って変化する電気的特性を有する感知素子と、該感知素子に接続される受信ユニットであって、環境パラメータ値の第1の組における該滅菌剤のベースライン濃度に対応するベースライン電気的特性値を格納し、該環境パラメータ値の第1の組における該滅菌剤のリアルタイムな濃度の指標としての該ベースライン電気的特性に対する該感知素子の該電気的特性のリアルタイムな変化を検出する受信ユニットと、該滅菌装置コントローラが、該リアルタイム濃度値をベースライン滅菌剤濃度範囲と比較して、該比較に基づいて該チャンバ中の滅菌剤の濃度を制御するとともに、滅菌サイクル中の該環境パラメータ値の組の環境パラメータをモニタリングし、モニタリングした環境パラメータの値の変化に応答して、該変化した環境パラメータ値の組に対応する新しいベースライン電気的特性値を該受信ユニットに格納させることと、を特徴とする、システム。

IPC (3)：

A61L 2/24 , A61L 2/20 , G01N 27/02

FI (5)：

A61L 2/24 , A61L 2/20 A , A61L 2/20 G , A61L 2/20 K , G01N 27/02 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

過酸化水素蒸気の濃度検出方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-124715 Applicant：大陽東洋酸素株式会社

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