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J-GLOBAL ID：200903084094768068

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 幸生 ,  石井 寛之 ,  西村 功 ,  小林 英一
Applicant, Patent owner： JSR株式会社
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002072984
Publication number (International publication number)：2003270787
Application date： Mar. 15, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 短波長の放射線に対する透明性が高く、現像液に対する溶解性に優れ、感度、パターン形状、エッチング耐性に優れる。【解決手段】 酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、その樹脂が、下記式(1)で表される側鎖を有する。【化1】(式(1)において、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基であり、Xは上記樹脂の主鎖と連結する基である。)

Claim (excerpt)：

酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記樹脂は、下記式(1)で表される側鎖を有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式(1)において、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基であり、Xは前記樹脂の主鎖と連結する基である。)

IPC (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/26 ,  C08F 22/06 ,  C08F 32/04 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/26 ,  C08F 22/06 ,  C08F 32/04 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (30)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32R ,  4J100AL08P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA10P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA38 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38