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J-GLOBAL ID：200903084106366700
高速粒子発生方法及び高速粒子発生装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002370441
Publication number (International publication number)：2004198373
Application date： Dec. 20, 2002
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：
【課題】パルスレーザー光を高速粒子発生ターゲット面の微小なスポットに集光させることにより、高速粒子を効率良く発生させることができる高速粒子発生方法を提供する。【解決手段】パルスレーザー光発生手段より発したパルスレーザー光を照射光学系により所定の集光ポイントに集光し、当該所定の集光ポイントにセットされた高速粒子発生ターゲットに照射することにより高速粒子を発生させる高速粒子発生方法において、所定の集光ポイントから基準光を発し、基準光の波面を波面計測手段により計測し、この計測した波面を基準波面として記憶する第1ステップと、パルスレーザー光発生手段により発せられて所定の集光ポイントを通過したパルスレーザー光の波面を波面計測手段により計測する第2ステップと、パルスレーザー光発生手段より発したパルスレーザー光の波面を基準波面に基づいて補償する第3ステップとを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
パルスレーザー光発生手段より発したパルスレーザー光を照射光学系により所定の集光ポイントに集光し、当該所定の集光ポイントにセットされた高速粒子発生ターゲットに照射することにより高速粒子を発生させる高速粒子発生方法において、
前記所定の集光ポイントから基準光を発し、前記基準光の波面を波面計測手段により計測し、この計測した前記波面を基準波面として記憶する第1ステップと、
前記パルスレーザー光発生手段により発せられて前記所定の集光ポイントを通過した前記パルスレーザー光の波面を前記波面計測手段により計測する第2ステップと、
前記パルスレーザー光発生手段より発した前記パルスレーザー光の波面を前記基準波面に基づいて補償する第3ステップと、
を備える、
ことを特徴とする高速粒子発生方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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