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J-GLOBAL ID：200903084154660997

光スペクトラムアナライザ

Inventor： 西名 繁樹
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995123172
Publication number (International publication number)：1996292098
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、レンズの波長に対する屈折率の変化率が変わる分だけ光学系を移動制御させる。即ち、スリット上で目的波長成分が常に最良の結像状態となる所望の光学位置関係にレンズを移動して合わせるように制御することで、広い波長範囲でもレンズを用いて安定した高確度のスペクトラム分解能で測定可能とする。【構成】 測定波長λm毎に、被測定入射光の発光点71位置がレンズの焦点位置となる光学移動を与え、回折格子14で分光した並行光線がスリット17上で焦点位置となる光学移動を与える光学焦点移動手段を設け、測定波長λm成分に対応して、回折格子14の回動と連動して前記レンズを光学移動させるレンズの連動制御手段を設ける。

Claim (excerpt)：

レンズと回折格子(14)とスリット(17)と、光検出器(18)を有して、被測定入射光をレンズにより並行光線にして回折格子(14)に与え、回折格子(14)で分光した並行光線をレンズでスリット(17)上に結像集光して被測定入射光を分光測定する光学装置において、測定波長λm毎に、被測定入射光の発光点(71)位置がレンズの焦点位置となる光学移動を与え、回折格子(14)で分光した並行光線がスリット(17)上で焦点位置となる光学移動を与える光学焦点移動手段を設け、測定波長λm成分に対応して、回折格子(14)の回動と連動して前記レンズを光学移動させるレンズの連動制御手段を設け、以上を具備していることを特徴とした光スペクトラムアナライザ。