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J-GLOBAL ID：200903084160051919

濃度測定装置

Inventor： 加藤 光雄 ,  田浦 昌純 ,  牟田 研二 ,  徳田 君代 ,  藤村 皓太郎
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997096046
Publication number (International publication number)：1998185814
Application date： Apr. 14, 1997
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】ガス状物質濃度と固体粒子物質濃度とを同時に測定することのできる濃度測定装置。【解決手段】測定対象に対して該測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を照射する光源部10と、この光源部10から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための波形発生器20と、前記測定対象を通過したレーザ光を受光し、光強度を検出する受光部30と、検出された光強度から前記測定対象の透過率を検出する直流成分検出器41と、検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから前記測定対象中のガス状物質による光吸収量を検出する位相敏感検波器41と、検出された透過率と光吸収量とから前記測定対象中のガス状物質濃度と固体粒子濃度とを検出する濃度演算器42とを具備してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を照射する光源部と、この光源部から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号発生器と、前記測定対象を通過したレーザ光を受光し、光強度を検出する受光部と、検出された光強度から前記測定対象の透過率を検出する直流成分検出器と、検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから前記測定対象中のガス状物質による光吸収量を検出する位相敏感検波器と、検出された透過率と光吸収量とから前記測定対象中のガス状物質濃度と固体粒子濃度とを演算する濃度演算器とを具備してなることを特徴とする濃度測定装置。