Pat

J-GLOBAL ID：200903084183018005

現像装置とそれを用いた現像方法

Inventor： 村松 智明 ,  菊地 健司
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036794
Publication number (International publication number)：1993234879
Application date： Feb. 25, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 現像装置とそれを用いた現像方法に関し、基板に塗着された露光済みのレジスト膜の上に短時間に一様に現像液膜を設けることを目的とする。【構成】 基板1に塗着されて露光済みのレジスト膜2を現像する現像装置であって、基板1の上方に上下動可能に配設された薬液供給手段3の管路3aの下壁に吐出口3bが設けられており、その吐出口3bから現像液5またはリンス液6が流下するようになっている。それを、周壁が下方に湾曲して拡開し、かつ前記薬液供給手段3にアーム4aを介して垂直方向に吊設されている薬液拡散部材4の頂部で受けて裾部へ拡散させ、低速度で回っている基板上のレジスト膜2の上に撒いて現像液膜5aを形成させる。洗浄に際しては、流下するリンス液6を避けて薬液拡散部材4を水平方向に位置するように構成する。

Claim (excerpt)：

基板(1) に塗着されて露光済みのレジスト膜(2) を現像する現像装置であって、薬液供給手段(3) と、薬液拡散部材(4) を有し、前記薬液供給手段(3) は、前記基板(1) の上方に上下動可能に配設された管路(3a)と、該管路(3a)の下壁に設けられた吐出口(3b)を有するものであり、該吐出口(3b)は、現像液(5) またはリンス液(6) のどららか一方を流下させるものであり、前記薬液拡散部材(4) は、周壁が下方に湾曲して拡開しており、前記薬液供給手段(3) にアーム(4a)を介して垂直方向と水平方向に回動可能に吊設されているものであり、前記薬液拡散部材(4) は、前記レジスト膜(2) の現像に際しては、垂直方向に位置して前記吐出口(3b)から流下した前記現像液(5) を頂部で受けて裾部へ拡散して該レジスト膜(2) の上に撒き、現像液膜(5a)を形成させるものであり、洗浄に際しては、流下する前記リンス液(6) を避けて水平方向に位置するものであることを特徴とする現像装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501