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J-GLOBAL ID：200903084235690904
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992189531
Publication number (International publication number)：1994034313
Application date： Jul. 16, 1992
Publication date： Feb. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】探針の走査範囲を越えた領域の観察像を一枚の画像として得る。【構成】観察領域36は一回の走査範囲38に対して大きい。観察領域36の観察は、一回の走査終了毎に試料を動かして、走査範囲内の領域の観察を何回か繰り返して行なう。各走査範囲38はその一部が重なるように設定しておく。各走査範囲38の画像データは、すべての走査が終了した後に、重なっている部分の画像データが一致するようにつなぎ合わせられ、観察領域36の全体の画像データが得られる。
Claim (excerpt)：
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法であって、各々が探針の走査範囲で決まる、一部が共通した複数の領域を観察し、各領域の画像データを得る工程と、隣接した二つの領域に共通した部分の画像データが一致する位置関係を求める工程と、その位置関係に従って隣接した二つの領域の画像データをつなぎ合わせる工程とを有している画像処理方法。
IPC (3)：
G01B 7/34
, H01J 37/28
, H04N 7/18
