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J-GLOBAL ID：200903084243602020

液体供給ノズル

Inventor： 長谷部 圭蔵 ,  立山 清久 ,  松山 雄二 ,  中原 哲郎 ,  木村 義雄
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009078
Publication number (International publication number)：1993055133
Application date： Jan. 22, 1992
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被処理体に衝撃を与えたり、気泡を発生させること無く、短時間で迅速に所定の液体を被処理体に供給することができるとともに、少量の液体で効率良く処理を実施することのできる液体供給ノズルを提供する。【構成】 半導体ウエハ1を保持するスピンチャック2上部に設けられた液体供給ノズル3は、矩形容器状の液体収容部4と、この液体収容部4の底部に設けられた多数の細孔6とを具備している。そして、現像液供給配管8から所定圧力で液体収容部4内に所定の現像液を供給し、多数の細孔6からにじみ出るようにして現像液を半導体ウエハ1に供給する。

Claim (excerpt)：

被処理体に対向する如く配置され、該被処理体に向けて所定の液体を吐出させる液体供給ノズルにおいて、容器状の液体収容部と、この液体収容部の底面に設けられ、該液体収容部内の液体を前記被処理体に吐出させる多数の細孔とを具備したことを特徴とする液体供給ノズル。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  B05B 1/14