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J-GLOBAL ID:200903084245678929
合成石英ガラス粉の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 曉司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993126262
Publication number (International publication number):1994340411
Application date: May. 27, 1993
Publication date: Dec. 13, 1994
Summary:
【要約】【目的】 超高純度石英ガラス製品の原料として好適な石英ガラス粉末を得る。【構成】 テトラアルコキシシランを加水分解することにより得られた湿潤シリカゲルを乾燥容器内で乾燥するにあたり、前記乾燥容器として予めアルカリ金属系のアルカリ水溶液で内壁を洗浄したものを用いる。
Claim (excerpt):
テトラアルコキシシランを加水分解することにより得た湿潤シリカゲルを乾燥容器内で乾燥するにあたり、前記乾燥容器として、予めアルカリ金属系のアルカリ水溶液により容器内壁を洗浄したものを用いることを特徴とする合成石英ガラス粉末の製造方法。
IPC (3):
C01B 33/18
, C03B 8/02
, C03C 3/06
Patent cited by the Patent:
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