エステル化合物

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小島隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999138090
Publication number (International publication number)：2000327633
Application date： May. 19, 1999
Publication date： Nov. 28, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【解決手段】下記一般式(1)で示されるエステル化合物。(式中、R1はヘテロ原子を含んでもよい飽和脂環構造又は芳香環構造を有する炭素数4〜40のn価の炭化水素基を示す。R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基又は炭素数6〜20の置換されていてもよいアリール基を示す。R3〜R12はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい1価の炭化水素基を示し、互いに環を形成していてもよく、その場合には炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい2価の炭化水素基を示す。またR3〜R12は隣接する炭素に結合するもの同士で何も介さずに結合し、二重結合を形成してもよい。nは1〜8の整数である。)【効果】本発明のエステル化合物を配合したレジスト材料は、高エネルギー線に感応し、感度、解像性、エッチング耐性、保存安定性に優れているため、電子線や遠紫外線による微細加工に有用である。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で示されるエステル化合物。【化1】(式中、R1はヘテロ原子を含んでもよい飽和脂環構造又は芳香環構造を有する炭素数4〜40のn価の炭化水素基を示す。R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基又は炭素数6〜20の置換されていてもよいアリール基を示す。R3〜R12はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい1価の炭化水素基を示し、互いに環を形成していてもよく、その場合には炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい2価の炭化水素基を示す。またR3〜R12は隣接する炭素に結合するもの同士で何も介さずに結合し、二重結合を形成してもよい。また、本式により、鏡像体も表す。nは1〜8の整数である。)

IPC (6)：

C07C 69/608 , C07C 69/675 , C07C 69/732 , C07C 69/753 , C07C 69/76 , G03F 7/004 501

FI (7)：

C07C 69/608 , C07C 69/675 , C07C 69/732 Z , C07C 69/753 C , C07C 69/753 Z , C07C 69/76 A , G03F 7/004 501

F-Term (19)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4H006AA01 , 4H006AB76 , 4H006AB92 , 4H006BJ20 , 4H006BJ30 , 4H006BJ50 , 4H006BN20 , 4H006BN30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ハロゲン化銀カラー写真感光材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-303231 Applicant：富士写真フイルム株式会社
特許第3680920号
特許第3642228号

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

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