Pat
J-GLOBAL ID：200903084259801685
荷電粒子線装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995310187
Publication number (International publication number)：1997147776
Application date： Nov. 29, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：
【要約】【課題】二つ以上の観察対象の間にある磁界レンズの励磁の変化によって生じる相対的回転現象をキャンセルし、重ね合せ像における対象物の相対的な角度の関係を一定に保つことである。【解決手段】磁界レンズ5を挟んで設置される対象物を保持するステージ3、4のうち、一方を荷電粒子線2の進行方向に平行な軸回りに回転可能なステージとし、磁界レンズ5の励磁と連動させる。【効果】二つの対象物の重ね合せ像で、相対的な角度関係を常に同じにすることができる。
Claim (excerpt)：
一つの荷電粒子源から発生した荷電粒子線を二つ以上の観察対象に通し、上記二つ以上の観察対象に関する情報を得る荷電粒子線装置において、上記荷電粒子線の軌道上の異なる位置に、上記観察対象を保持する二つ以上のステージを備え、上記二つ以上のステージの間に一つ以上の磁界レンズを備え、上記ステージの少なくとも一つを荷電粒子線の軌道方向と平行な軸を中心に回転させる回転駆動手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3)：
H01J 37/20
, H01J 37/147
, H01J 37/22 501
H01J 37/20 C
, H01J 37/147 A
, H01J 37/22 501 B
