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J-GLOBAL ID：200903084279139997

耐熱感光性樹脂組成物

Inventor： 鍛治 誠 ,  萩原 秀雄 ,  小島 康則
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993041083
Publication number (International publication number)：1994258834
Application date： Mar. 02, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 (A)一般式(I)(式中、Xは二量化または重合可能な基を表し、R1は(2+p)価の有機基を表し、R2は4価の有機基を表し、pは1又は2の整数を表す。R2に結合した2つのカルボキシル基のひとつはR2における片方のアミド基に結合した原子の隣の原子に結合し、もうひとつのカルボキシル基は残りのアミド基に結合した原子の隣の原子に結合している)で示される繰り返し単位を有するポリアミド酸及び(B)アミノ基を有するアクリル化合物を含んでなる感光性樹脂組成物。【効果】 優れた感光性と良好な膜特性を兼ね備えた耐熱感光性樹脂組成物を提供する。

Claim (excerpt)：

(A)一般式(I)【化1】(式中、Xは二量化または重合可能な基を表し、R1は(2+p)価の有機基を表し、R2は4価の有機基を表し、pは1又は2の整数を表す。R2に結合した2つのカルボキシル基のひとつはR2における片方のアミド基に結合した原子の隣の原子に結合し、もうひとつのカルボキシル基は残りのアミド基に結合した原子の隣の原子に結合している)で示される繰り返し単位を有するポリアミド酸及び(B)アミノ基を有するアクリル化合物を含んでなる感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312