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J-GLOBAL ID：200903084282636454

軟磁性薄膜及びこれを用いた薄膜磁気ヘッド

Inventor： 香取 健二 ,  大森 広之 ,  庄子 光治 ,  大沼 博
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995313358
Publication number (International publication number)：1996227813
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【課題】 摩耗(偏摩耗)特性等の信頼性に優れ、高密度磁気記録が可能な薄膜磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 FeAlVNbCuNOよりなり、窒素及び水蒸気(H2 O)を導入した反応スパッタにより成膜される軟磁性薄膜を、下層磁性コア1及び上層磁性コア2として配する。

Claim (excerpt)：

(Fea Mb Cuc Rud )e Nf Og (ただしa,b,c,d,e,f,gは組成を原子%で表し、MはSi,Al,Ta,B,Mg,Ca,Sr,Cr,Mn,Zr,Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,希土類元素のうちの少なくとも1種を表す。)なる組成式で表され、その組成範囲が、0≦b≦50≦c≦80≦d≦50≦c+d≦8a+b+c+d=1000.5≦f≦150.1≦g≦13e+f+g=100であるとともに、窒素及び水蒸気(H2 O)を導入した反応スパッタにより成膜されるものであることを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (6)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  H01F 41/18

FI (7)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 S ,  C23C 14/08 M ,  C23C 14/34 P ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/58 A ,  H01F 41/18