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J-GLOBAL ID：200903084306785880

金属用研磨液及び研磨方法

Inventor： 小野 裕 ,  増田 克之 ,  羽広 昌信
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001383539
Publication number (International publication number)：2003188120
Application date： Dec. 17, 2001
Publication date： Jul. 04, 2003
Summary：

【要約】【課題】 エッチング速度を低く保ちつつ、研磨速度を充分上昇させ、金属表面の腐食とディシングの発生を抑制し、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ-ン形成を可能とする金属用研磨液を提供する。【解決手段】 酸化剤、酸化金属溶解剤、金属防食剤及び水を含有し、前記金属防食剤の少なくとも一種がイミダゾール骨格を有する化合物である金属用研磨液。

Claim (excerpt)：

酸化剤、酸化金属溶解剤、金属防食剤及び水を含有し、前記金属防食剤の少なくとも一種がイミダゾール骨格を有する化合物である金属用研磨液。

IPC (7)：

H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (7)：

H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 A ,  H01L 21/304 622 X ,  B24B 37/00 H ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 Z

F-Term (7)：

3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17