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J-GLOBAL ID:200903084310013565
電子顕微鏡等の試料加熱・冷却装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997078246
Publication number (International publication number):1998275582
Application date: Mar. 28, 1997
Publication date: Oct. 13, 1998
Summary:
【要約】【課題】 装置の構成の変更なしに、試料の加熱、冷却を効率よく安定して行うことを可能にする。【解決手段】 試料と接触する第1のヒートコンダクタと、冷媒によって冷却され、熱膨張、収縮により第1のヒートコンダクタと接触/切り離し可能な第2のヒートコンダクタと、試料を加熱する加熱手段とを備えたことを特徴とする。
Claim (excerpt):
試料と接触する第1のヒートコンダクタと、冷媒によって冷却され、熱膨張、収縮により第1のヒートコンダクタと接触/切り離し可能な第2のヒートコンダクタと、試料を加熱する加熱手段とを備えた電子顕微鏡等の試料加熱・冷却装置。【請求項1】 試料と接触する第1のヒートコンダクタと、冷媒によって冷却され、熱膨張、収縮により第1のヒートコンダクタと接触/切り離し可能な第2のヒートコンダクタと、加熱手段と接触し、熱膨張、収縮により前記第1のヒートコンダクタと接触/切り離し可能な第3のヒートコンダクタとを備えた電子顕微鏡等の試料加熱・冷却装置。
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