Pat

J-GLOBAL ID：200903084331487770

クリーンルーム

Inventor： 天羽 隆 ,  富田 弘明
Applicant, Patent owner： 三機工業株式会社
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995053993
Publication number (International publication number)：1996247512
Application date： Mar. 14, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 生産装置又は機器の上部側で発生する熱気流や上方吹出気流に起因する気流の乱れを抑制すること、汚染物質を捕捉すること、周辺への温度影響を防止することができるクリーンルームを提供することにある。【構成】 室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配設され、生産装置又は機器の周囲の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の周囲に空気を圧送する送気手段が配設されていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配設され、生産装置又は機器の周囲の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の周囲に空気を圧送する送気手段が配設されていることを特徴とするクリーンルーム。