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J-GLOBAL ID：200903084361321809

柔軟センサ

Inventor： 佐藤 明生 ,  片山 晶雅 ,  日比野 真吾
Applicant, Patent owner： 東海ゴム工業株式会社
Agent (1)： 西藤 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999148838
Publication number (International publication number)：2000337971
Application date： May. 27, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】感知面が非常に柔軟で、ごく微妙な圧力変化に対し優れた感度と応答性を有する柔軟センサを提供する。【解決手段】樹脂フィルム16の片面に、厚み100〜20000Åのチタン薄膜18が蒸着形成され、このチタン薄膜18の上に厚み0.5〜50μmの圧電結晶薄膜19が形成され、さらにその上に電極層20が形成されてなる圧電積層体2を備えている。

Claim (excerpt)：

樹脂フィルムの片面もしくは両面に、厚み100〜20000Åのチタン薄膜が蒸着形成され、このチタン薄膜の上に厚み0.5〜50μmの圧電結晶薄膜が形成され、さらにその上に電極層が形成されてなる圧電積層体を備えていることを特徴とする柔軟センサ。