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J-GLOBAL ID：200903084366150069

自動非点収差補正方法

Inventor： 山田 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995312778
Publication number (International publication number)：1997161706
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 非点収差を補正する最適な補正量を少ない手順で得ることができる自動非点収差補正方法を提供する。【解決手段】 非点収差を補正する補正方向を求め(STEP1)、試料に対する焦点位置を変更しながら、求めた補正方向および補正方向と直交する方向の2方向について走査を行って両方向での非点収差量を求め(STEP2)、試料に対する焦点位置が同一の位置関係において、求めた両方向の非点収差量が一致する補正量を求める(STEP3,4)。そして、この求めた補正方向および補正量を用いて非点収差補正を行う(STEP5,6)。

Claim (excerpt)：

非点収差を補正する補正方向を求め、試料に対する焦点位置を変更しながら、補正方向および補正方向と直交する方向の2方向について走査を行って両方向での非点収差量を求め、試料に対する焦点位置が同一の位置関係において、前記両方向の非点収差量が一致する補正量を求め、前記補正方向および補正量を用いて非点収差補正を行うことを特徴とする自動非点収差補正方法。

IPC (2)：

H01J 37/153 ,  G01N 23/225

FI (2)：

H01J 37/153 B ,  G01N 23/225