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J-GLOBAL ID：200903084380655688

微小領域熱物性測定装置

Inventor： 竹歳 尚之 ,  馬場 哲也 ,  羽鳥 仁人 ,  大槻 哲也
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社ベテル ,  竹歳 尚之 ,  馬場 哲也
Agent (2)： 中野 佳直 (外1名) ,  中野 佳直
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998290555
Publication number (International publication number)：2000121585
Application date： Oct. 13, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 試料表面の微小領域の熱物性を高い空間分解能により測定すること。【解決手段】 試料3の表面に金属薄膜を形成し、その試料表面を加熱する為、変調器8で交流変調した加熱用レーザビーム5と加熱した試料表面に照射する測温用レーザビーム6とを顕微光学系4を通して試料表面のほぼ同一位置に集光させ、その時の測温用レーザビームの反射光を検出する。測温用レーザビームの反射光から試料表面の温度変化を検出して位相遅れや相対強度を測定し、試料の微小領域の熱物性値を算出する。試料を二次元移動させることにより局所的な熱物性値の二次元分布が求められる。

Claim (excerpt)：

試料表面を加熱する加熱用レーザビームを発する加熱用レーザと、該加熱用レーザビームを交流変調する変調器と、加熱した試料表面に照射する測温用レーザビームを発する測温用レーザと、前記両レーザビームを前記試料表面のほぼ同一位置に集光させる顕微鏡光学系と、前記測温用レーザビームの反射光を検出する手段と、前記検出された反射光に基づいて試料の熱物性値を算出する手段とを備え、前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出することを特徴とする微小領域熱物性測定装置。

F-Term (14)：

2G040AB05 ,  2G040AB08 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA12 ,  2G040DA15 ,  2G040DA24 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC04 ,  2G040HA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-009641