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J-GLOBAL ID：200903084382689415

ウエーハ面取部研磨用バフの総形溝加工装置

Inventor： 長谷川 文彦 ,  大谷 辰夫 ,  黒田 泰嘉
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992318445
Publication number (International publication number)：1994163488
Application date： Nov. 27, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 総形溝加工を容易、且つ、高精度に行なうことができるとともに、バフの取付精度に影響を与えず、スラリー対策も不要であるウエーハ面取部研磨用バフの総形溝加工装置を提供すること。【構成】 ウエーハ吸着盤5に吸着される溝加工バイト14と、ウエーハ吸着盤5の回転ロック手段である治具15と、アーム1の回動量を規制して溝加工バイト14先端の位置出しを行なうストッパ11を含んで総形溝加工装置を構成する。本発明によれば、バフ6の総形溝加工が必要なときには、バフ6を取り外すことなく、ウエーハ吸着盤5に溝加工バイト14を吸着して該溝加工バイト14によってバフ6に総形溝加工を施すことができるため、バフ6の取付精度が影響を受けることがない。そして、この場合、ストッパ11で溝加工バイト14先端の位置出しが高精度になされ、溝加工バイト14は総形溝加工時のみウエーハ吸着盤5に吸着されるため、総形溝加工が高精度になされるとともに、溝加工バイト14に対するスラリー対策が不要となる。

Claim (excerpt)：

中間部を回動自在に枢着されたアームの一端にウエーハ吸着盤を回転自在に支承せしめ、同アームの他端を押圧手段で該アームの回動方向に押圧して前記ウエーハ吸着盤に吸着されて回転するウエーハをバフの外周に形成された総形溝に押圧することによって、該ウエーハの外周面取部を研磨するウエーハ面取部研磨装置における前記バフの総形溝加工装置であって、前記ウエーハ吸着盤に吸着される溝加工バイトと、ウエーハ吸着盤の回転ロック手段と、前記アームの回動量を規制して前記溝加工バイト先端の位置出しを行なうストッパを含んで構成されることを特徴とするウエーハ面取部研磨用バフの総形溝加工装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 321 ,  B23B 5/00 ,  B24B 9/00