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J-GLOBAL ID：200903084399817654
コーティング工具用固体潤滑膜及びその製造法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
河内 潤二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999334812
Publication number (International publication number)：2000233324
Application date： Nov. 25, 1999
Publication date： Aug. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】工具鋼、高速度工具鋼、超硬合金等を母材とする工具上にTiN,TiCN,TiAlN,A<SB>2</SB>O<SB>3 </SB>等の硬質物質をコーティングしたコーティング工具上に、工具の潤滑特性を改善することを目的とした潤滑膜を成膜したコーティング工具用固体潤滑膜及びその製造法を提供。【構成】コーティング工具上に、Si,Zr,Ni,Fe,Co及びCrのうちの一種または二種以上の金属 Mに対して主として酸素が主成分となる酸化物( MO<SB>x </SB>: 0.2 ≦ x< 2)を、成膜する厚さ t は、 0.01≦ t < 2.0 (μm)であり、 150°C 〜 450°C に加熱され、イオンプレーティングを含む物理蒸着法により形成され、成膜バイアスは -15 V 〜 -1000 Vの直流印加方式、もしくは-15 V 〜 -1000 V相当の実効バイアスが得られる高周波交流電流印加方式によって成膜。
Claim (excerpt)：
ドリル、エンドミル及びタップを含む工具に使用される工具鋼、高速度工具鋼、超硬合金、サ-メット又はセラミックを母材とした工具上に TiN,TiCN,TiAlN,A<SB>2</SB>O<SB>3</SB>のうちの1もしくはこれらの組合せを含む硬質物質をコーティングしたコーティング工具上に、以下の条件を満たす潤滑膜を形成することを特徴とするコーティング工具用固体潤滑膜の製造法、(a).Si,Zr,Ni,Fe,Co及びCrのうちの一種または二種以上の金属 Mに対して主として酸素が主成分となる酸化物( MO<SB>x </SB>: 0.2 ≦ x<2 )としてコーティング工具上に成膜し、(b).成膜する厚さ t は、 0.01≦ t < 2.0 (μm)であり、そして、(c).これらの酸化物の膜は、 150°C 〜 450°C に加熱され、物理蒸着法特にイオンプレーティングにより形成され、成膜バイアスは -15 V 〜 -1000 Vの直流印加方式、もしくは-15 V 〜 -1000 V相当の実効バイアスが得られる高周波交流電流印加方式、によって成膜する。
IPC (3)：
B23P 15/28
, B23B 27/14
, C23C 14/06
B23P 15/28 A
, B23B 27/14 A
, C23C 14/06 P
Cited by examiner (7)
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