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J-GLOBAL ID：200903084467418860

熱式空気流量計

Inventor： 南谷 林太郎 ,  保川 彰夫 ,  五十嵐 信弥
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999193911
Publication number (International publication number)：2001021401
Application date： Jul. 08, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 測定精度を向上した熱式空気流量計を提供する。【解決手段】 半導体基板3と、この半導体基板3上に形成された電気絶縁膜5と、この電気絶縁膜5上に延在させて形成された抵抗体7、9、11とを備え、抵抗体の本体部7、9、11が形成された領域に対応する部分の半導体基板3を除去して空洞29が形成されてなる熱式空気流量計において、抵抗体7、9、11の延在方向と交わる方向に延在する剛性部材14を形成することにより、抵抗体7、9、11の延在方向と交わる方向の電気絶縁膜5の剛性を高め、ピエゾ抵抗効果による発熱抵抗体7、9や測温抵抗体11の抵抗値の変動を低減する。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、該半導体基板上に形成された電気絶縁膜と、該電気絶縁膜上に延在させて形成された抵抗体とを備え、前記抵抗体の本体部が形成された領域に対応する部分の前記半導体基板を除去して空洞が形成されてなる熱式空気流量計において、前記抵抗体の延在方向と該延在方向に交わる方向との前記電気絶縁膜の剛性の差を低減したことを特徴とする熱式空気流量計。

IPC (3)：

G01F 1/68 ,  F02D 35/00 ,  G01P 5/12

FI (3)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 Z ,  F02D 35/00 366 E

F-Term (4)：

2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA04 ,  2F035EA08