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J-GLOBAL ID：200903084471013727

半導体加速度センサ及びその製造方法並びに車両制御装置

Inventor： 瀬々倉 孝
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996116619
Publication number (International publication number)：1997304425
Application date： May. 10, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 周波数特性の調整を容易にする。【解決手段】 加速度が作用したときに変位可変な慣性質量部6に凹状部7を形成し、凹状部7の最奥部7aを支持部8で支持した梁部10で支持する。そして、加速度が作用したときに梁部10の応力変化から、加速度の変化を電位差として検出するゲージ抵抗11を梁部10に配置する。

Claim (excerpt)：

加速度が作用したときに変位可能な慣性質量部と、この慣性質量部を一端で支持した梁部と、この梁部の他端を支持し固定される支持部と、上記梁部に形成したゲージ抵抗とにより上記加速度の変化を検出する半導体加速度センサにおいて、上記慣性質量部に凹状部を形成し、上記凹状部の最奥部を上記梁部で支持したことを特徴とする半導体加速度センサ。

IPC (7)：

G01P 15/12 ,  B62D 6/00 ,  G01C 21/00 ,  H01L 29/84 ,  B62D103:00 ,  B62D105:00 ,  B62D113:00

FI (4)：

G01P 15/12 ,  B62D 6/00 ,  G01C 21/00 D ,  H01L 29/84 A