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J-GLOBAL ID：200903084477883944

酸化亜鉛薄膜、その製造方法、光電変換素子及びその製造方法

Inventor： 近藤 隆治
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998205849
Publication number (International publication number)：1999079891
Application date： Jul. 06, 1998
Publication date： Mar. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、高温条件下での作成や、厚膜化を必要とすることなく、テクスチャー度を向上させ、短絡電流密度(Jsc)の改善された酸化亜鉛薄膜及び該酸化亜鉛薄膜で構成した光電変換素子を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の酸化亜鉛薄膜は、酸化亜鉛結晶の(103)面のエックス線回折ピークを有することを特徴とするものであり、本発明の光電変換素子は、基板上に第一の透明導電層と半導体層と第二の透明導電層とを少なくとも有する光電変換素子において、該透明導電層の少なくとも一方を上記の酸化亜鉛薄膜で構成したことを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛結晶の(103)面のエックス線回折ピークを有することを特徴とする酸化亜鉛薄膜。

IPC (5)：

C30B 29/16 ,  C01G 9/02 ,  C25D 9/04 ,  H01L 31/04 ,  C23C 16/40

FI (5)：

C30B 29/16 ,  C01G 9/02 Z ,  C25D 9/04 ,  C23C 16/40 ,  H01L 31/04 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光起電力素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-231315   Applicant：キヤノン株式会社
• 光起電力素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-223805   Applicant：キヤノン株式会社